| 5槽式純水超音波洗浄装置 |
| 5 Bath DIW Ultrasonic Cleaning System |
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主にウエハ−・ガラス洗浄に対応しています。 洗浄の各槽に超音波を内蔵しており、使用周波数は40〜100kHzとなっております。 ウエハ−・ガラス表面の微細なパ−ティクル洗浄に最適です。 Cleaning system designed to clean wafer and glass. Built-in ultrasonic in each bath. Frequency : 40 - 100kHz Most suitable for cleaning wafer and glass and removal of micro particle on the surface. |
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パ−ティクル洗浄&乾燥 Cleaning/drying semiconductor wafer, solar cell panel, glass substrate to remove particle |
| その他の取り扱い検査装置/Other inspection system |
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IR透過検査装置・エッジ検査装置・クラック検査装置・イオン残渣検査機 IR transmission inspection system, Edge inspection system, Crack inspection system, Ionic residue inspection system |
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