RSP-150手動オープナー
【設備概要】
RSP-150 (Reticle SMIF Pod)の開閉を手動で行う治具です。
【特長】
RSP150をオープナー(本製品)に載せ、ハンドルレバーを左右に動作させることでRSPの開閉が可能です。
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【仕様】
| 主材質 | アルミ合金 / SUS |
| 外形寸法 | 355(W) × 421(D) × 171(H)mm ※421mmはハンドルレバーの回転領域を含む。 |
| 重量 | 約6kg |
RSP-200手動オープナー
【設備概要】
RSP-200(Reticle SMIF Pod)の開閉を手動で行う治具です。
【特長】
RSP200をオープナー(本製品)に載せ、ハンドルレバーを左右に動作させることでRSPの開閉が可能です。
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【仕様】
| 主材質 | アルミ合金 / SUS |
| 外形寸法 | 369(W) × 427(D) × 127(H)mm ※427mmはハンドルレバーの回転領域を含む。 |
| 重量 | 約4.5kg |
FOUP手動オープナー
【設備概要】
300mm用FOUP (Front Opening Unified Pod)の開閉を手動で行う治具です。
【特長】
- ・オープナー(本製品)をFOUP DOORにセッティングし、ハンドル(右)を回転させることにより、開閉が可能です。
- ・外したDOORは、清浄度維持の為、立てた状態にて仮置きが可能です。
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【仕様】
| 主材質 | 樹脂(エンジニアリングプラスチック) |
| 外形寸法 | 453(W) × 83(D) × 173(H)mm ※173mmはハンドルを含む。 |
| 重量 | 約850g |
大日商事株式会社