300mmウエハー キャリア
CR300L-02LF-P7
| 型番 | CR300L-02LF-P7 |
| 容量 | 25 |
| 寸法 | 350mm × 217mm × 260mm |
| D1寸法 | 25mm |
| ポケットピッチ | 7mm |
| ポケット最深部 | 1.9mm |
| 適用ボックス | BX300-01PC |
- キネマティック対応専⽤のアダプターをつければ、SEMIスタンダードに準拠したステージに載置できます。ただしウエハーピッチがSEMI スタンダードとは異なっておりますので、ご使⽤になる際は別途、外観⼨法図⾯をご請求の上、ご確認下さい。
- サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。
- ロー･プロファイルタイプのため、ウエハーの露出部が⼤きく、洗浄、乾燥効果を
より⾼めています。 - ウエハーの⼨法安定性を⾼めました。
300mmウエハー キャリア
CR300L-03LF-P10
| 型番 | CR300L-03LF-P10 |
| 容量 | 25 |
| 寸法 | 350mm × 298mm × 260mm |
| D1寸法 | 25mm |
| ポケットピッチ | 10mm |
| ポケット最深部 | 2.6mm |
- キャリアの⼀端はＨ字型で各種⾃動機にかけられます。
- トップフランジは折返し形状です。
- サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。
- ロー･プロファイルタイプのため、ウエハーの露出部が⼤きく、洗浄、乾燥効果を
より⾼めています。 - ウエハーの⼨法安定性を⾼めました。
FOUP
SF300-02N
| 型番 | SF300-02N |
| 容量 | 25枚(φ300mmウエハー) |
| 寸法 | 428mm × 355mm × 338mm |
| ポケットピッチ | 10mm |
- SEMI規格に準拠しています。（E47.1, E1.9, E15.1, E57, E62）
- 低発塵で密閉性や洗浄乾燥性に優れた基本設計となっています。
- インターオペラビリティを重視した⾼密度構造です。
- 低アウトガス、低⽔分吸収を考慮した材料を使⽤しています。
- ウエハーサポートから、ロボットフランジおよびキネマティック溝までESD対策された導電パス構造となっています。
オプション
- (1) UV対策
- (2) キャリアID対応 (RF-ID)
- (3) Info Pad (A, B, C, D)
- (4) カードホルダー
- (5) N2バルブ
300mmウエハー オープンカセット
CR300U-10-01-PES-NAT-S01
| 型番 | CR300U-10-01-PES-NAT-S01 |
| 容量 | 25 |
| 寸法 | 332mm × 310mm × 300mm |
| ポケットピッチ | 10mm |
| 適用ボックス | BX300-01PC |
| 適用ハンドル | CH300-01 |
| 材質 | ポリエーテルサルホン |
- SEMI規格に準拠しています。(E1.9、E57)
- 高寸法精度、剛性、低アウトガス、低摩耗性、耐熱性に優れた材料を使用しています。
- ウェハ―飛び出し防止突起構造となっています。
- 専用ハンドルCH300-01を取り付けることができます。
300mmウエハー オープンカセット
CR300U-10-01-PC-NAT-S01
| 型番 | CR300U-10-01-PC-NAT-S01 |
| 容量 | 25 |
| 寸法 | 332mm × 310mm × 300mm |
| ポケットピッチ | 10mm |
| 適用ボックス | BX300-01PC |
| 適用ハンドル | CH300-01 |
| 材質 | ポリカーボネート |
- SEMI規格に準拠しています。(E1.9、E57)
- 高寸法精度、剛性、低アウトガス、低摩耗性、耐熱性に優れた材料を使用しています。
- ウェハ―飛び出し防止突起構造となっています。
- 専用ハンドルCH300-01を取り付けることができます。
300mmウエハー オープンカセット
CR300U-11-01-PES-NAT-S01
| 型番 | CR300U-11-01-PES-NAT-S01 |
| 容量 | 15 |
| 寸法 | 332mm × 310mm × 200mm |
| ポケットピッチ | 10mm |
| 適用ボックス | BX300-01PC |
| 適用ハンドル | CH300-01 |
| 材質 | ポリエーテルサルホン |
- SEMI規格に準拠しています。(E1.9、E57)
- 高寸法精度、剛性、低アウトガス、低摩耗性、耐熱性に優れた材料を使用しています。
- 専用ハンドルCH300-01を取り付けることができます。
150mmウエハーキャリア
CR150A-33-03-PCNT-BLK-S00
| 型番 | CR150A-33-03-PCNT-BLK-S00 |
| 容量 | 25 |
| 寸法 | 177mm × 143mm × 171mm |
| Ｄ1寸法 | 14.53mm |
| ポケットピッチ | 4.76mm |
| ポケット最深部 | 1.52mm |
| 適用ボックス | BX150・BX150N・BX150-09-C004・BX150-27-C001、 |
| BX150W-01・BX150W-02、BX150-35-C001 | |
| 材質 | 導電性ポリカーボネート |
- キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。
- サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設け洗浄、水切り、乾燥効果を高めています。
- 低アウトガス、導電性材料を採用しています。
- オプションとしてエンドウォール側にはヨの字型のハンドルを設けることができます。（CR150A-33-02H）
大日商事株式会社