200㎜ウエハーキャリア
CR200A-02-01H-PCNT
| 型番 | CR200A-02-01H-PCNT |
| 材質 | 導電性ポリカーボネート |
| 容量 | 25 |
| 寸法 | 234mm×203mm×219mm |
| D1寸法 | 25.4mm |
| ポケットピッチ | 6.35mm |
| ポケット最深部 | 1.8mm |
- キャリアの一端はＨ字型で各種自動機にかけられます。
- エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。
- サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。
- 低アウトガス、導電性材料を採用しています。
- ウエハーの水平安定性を高めました。
8"-6"スタットフリー-1製キャリア
CR200A-12-01H-SF
| 型番 | CR200A-12-01H-SF |
| 材質 | スタットフリー-1 |
| 容量 | 25 |
| 寸法 | 234.4mm×203.2mm×218.31mm |
| D1寸法 | 25.4mm |
| ポケットピッチ | 4.76mm |
| ポケット最深部 | 1.65mm |
- キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。
- エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。
- ウォッシュ･スロットを設けています。
- 200mmウエハー用キャリアの外形寸法でありながら
150mmウエハーが収納できるキャリアとなっています。 - ほぼ永久に帯電防止効果が持続します。
また導電材に金属を使用していないので、ウエハーへの汚染がありません。
ICタグホルダー ～RP-08シリーズ～
RP-08シリーズ
| 材質 | PFA |
| 寸法 | 51.5mm×12mm×12mm |
- 各種キャリア、BOXに取り付けられます。
- 安心の2重封止でRFIDタグを薬液から守ります。
カードホルダー
CC-09-01-PA(特注色例)
| 型番 | CC-09-01-PA |
| 材質 | 帯電防止PP |
| 寸法 | 90mm×64mm×5mm |
| 標準色 | ナチュラル |
- 各種キャリア、ボックスに取り付けられるカードホルダーです。
BX150W-02シリーズ用クリップ
BX150-34-01-0-PA(特注色例)
| 型番 | BX150-34-01-0 |
| 材質 | スタットフリー-1 帯電防止ポリプロピレン |
| 寸法 | 50mm×30mm×3mm |
- 150mmウエハーキャリア保管用ボックスBX150W-02シリーズ各種に取り付けられます。
- 工程管理表収納用クリップです。
ニードルバルブ ～NV-01シリーズ～
PFA、PTFE
| 使用流体 | 液体 |
| 耐圧 | 常温0.7MPa |
| 接続継手仕様 | フレアータイプ |
| サイズ(インチ) | 1/4”、3/8”、1/2” |
- 手動操作方式のニードルバルブです。
- 正面に「IN」「OUT」の刻印があります。
- パネルへの取り付けが可能です。
- 気体の仕様についてはご相談下さい。
CR100A-05-01-BS PEEK
CR100A-05-01-BS
| 容量 | 25 |
| 寸法 | 125mm×143mm×111mm |
| D1寸法 | 13.97mm |
| ポケットピッチ | 4.76mm |
| ポケット最深部 | 1.52mm |
- キャリアの一端はＨ字型で各種自動機にかけられます。
- エンドウォールは全壁面となっています。
- サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設け洗浄、水切り、乾燥効果を高めています。
- 耐熱性・剛性に優れていますのでウエハーのベーキング、拡散、薄膜形成工程等
高温処理後のウエハー収納に適しています。
SC-01-01-PI PI
SC-01-01-PI
| 全長 | 25mm |
| ねじ部長さ | 18.4mm |
| ねじサイズ | Ｍ5 |
| ねじピッチ | 0.8mm |
| 最大外径 | Φ8mm |
- 熱可塑性ポリイミドの成形品なので、耐熱性や耐プラズマ性に優れています。
- ねじのサイズ、長さ、ピッチ、ドライバー形状など特注対応も可能です。
- ねじ以外にも、軸受部品やスラストワッシャーなどの高温で使用する
摺動部品にも適した材料です。
大日商事株式会社