新規ラインナップが追加されました!

300mmウエハー キャリア

  • CR300L-02LF-P7
  • CR300L-02LF-P7

CR300L-02LF-P7

型番 CR300L-02LF-P7
容量 25
寸法 350mm × 217mm × 260mm
D1寸法 25mm
ポケットピッチ 7mm
ポケット最深部 1.9mm
適用ボックス BX300-01PC
  • キネマティック対応専⽤のアダプターをつければ、SEMIスタンダードに準拠したステージに載置できます。ただしウエハーピッチがSEMI スタンダードとは異なっておりますので、ご使⽤になる際は別途、外観⼨法図⾯をご請求の上、ご確認下さい。
  • サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。
  • ロー・プロファイルタイプのため、ウエハーの露出部が⼤きく、洗浄、乾燥効果を
    より⾼めています。
  • ウエハーの⼨法安定性を⾼めました。

300mmウエハー キャリア

  • CR300L-03LF-P10
  • CR300L-03LF-P10

CR300L-03LF-P10

型番 CR300L-03LF-P10
容量 25
寸法 350mm × 298mm × 260mm
D1寸法 25mm
ポケットピッチ 10mm
ポケット最深部 2.6mm
  • キャリアの⼀端はH字型で各種⾃動機にかけられます。
  • トップフランジは折返し形状です。
  • サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。
  • ロー・プロファイルタイプのため、ウエハーの露出部が⼤きく、洗浄、乾燥効果を
    より⾼めています。
  • ウエハーの⼨法安定性を⾼めました。

FOUP

  • SF300-02N
  • SF300-02N

SF300-02N

型番 SF300-02N
容量 25枚(φ300mmウエハー)
寸法 428mm × 355mm × 338mm
ポケットピッチ 10mm
  • SEMI規格に準拠しています。(E47.1, E1.9, E15.1, E57, E62)
  • 低発塵で密閉性や洗浄乾燥性に優れた基本設計となっています。
  • インターオペラビリティを重視した⾼密度構造です。
  • 低アウトガス、低⽔分吸収を考慮した材料を使⽤しています。
  • ウエハーサポートから、ロボットフランジおよびキネマティック溝までESD対策された導電パス構造となっています。

オプション

  • (1) UV対策
  • (2) キャリアID対応 (RF-ID)
  • (3) Info Pad (A, B, C, D)
  • (4) カードホルダー
  • (5) N2バルブ

300mmウエハー オープンカセット

  • CR300U-10-01-PES-NAT-S01
  • CR300U-10-01-PES-NAT-S01

CR300U-10-01-PES-NAT-S01

型番 CR300U-10-01-PES-NAT-S01
容量 25
寸法 332mm × 310mm × 300mm
ポケットピッチ 10mm
適用ボックス BX300-01PC
適用ハンドル CH300-01
材質 ポリエーテルサルホン
  • SEMI規格に準拠しています。(E1.9、E57)
  • 高寸法精度、剛性、低アウトガス、低摩耗性、耐熱性に優れた材料を使用しています。
  • ウェハ―飛び出し防止突起構造となっています。
  • 専用ハンドルCH300-01を取り付けることができます。

300mmウエハー オープンカセット

  • CR300U-10-01-PC-NAT-S01
  • CR300U-10-01-PC-NAT-S01

CR300U-10-01-PC-NAT-S01

型番 CR300U-10-01-PC-NAT-S01
容量 25
寸法 332mm × 310mm × 300mm
ポケットピッチ 10mm
適用ボックス BX300-01PC
適用ハンドル CH300-01
材質 ポリカーボネート
  • SEMI規格に準拠しています。(E1.9、E57)
  • 高寸法精度、剛性、低アウトガス、低摩耗性、耐熱性に優れた材料を使用しています。
  • ウェハ―飛び出し防止突起構造となっています。
  • 専用ハンドルCH300-01を取り付けることができます。

300mmウエハー オープンカセット

  • CR300U-11-01-PES-NAT-S01
  • CR300U-11-01-PES-NAT-S01

CR300U-11-01-PES-NAT-S01

型番 CR300U-11-01-PES-NAT-S01
容量 15
寸法 332mm × 310mm × 200mm
ポケットピッチ 10mm
適用ボックス BX300-01PC
適用ハンドル CH300-01
材質 ポリエーテルサルホン
  • SEMI規格に準拠しています。(E1.9、E57)
  • 高寸法精度、剛性、低アウトガス、低摩耗性、耐熱性に優れた材料を使用しています。
  • 専用ハンドルCH300-01を取り付けることができます。

150mmウエハーキャリア

  • CR150A-33-03-PCNT-BLK-S00
  • CR150A-33-03-PCNT-BLK-S00

CR150A-33-03-PCNT-BLK-S00

型番 CR150A-33-03-PCNT-BLK-S00
容量 25
寸法 177mm × 143mm × 171mm
D1寸法 14.53mm
ポケットピッチ 4.76mm
ポケット最深部 1.52mm
適用ボックス BX150・BX150N・BX150-09-C004・BX150-27-C001、
BX150W-01・BX150W-02、BX150-35-C001
材質 導電性ポリカーボネート
  • キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。
  • サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設け洗浄、水切り、乾燥効果を高めています。
  • 低アウトガス、導電性材料を採用しています。
  • オプションとしてエンドウォール側にはヨの字型のハンドルを設けることができます。(CR150A-33-02H)