CR150A-25-02HW-SF

スロット数25
寸法 178mm × 143mm × 164mm
D₁寸法 14.54mm
ポケットピッチ 4.76mm
ポケット最深部 1.52mm
適用ボックス BX150
BX150-09-C001
BX150W-01
BX150W-02
BX150-27-C001
BX150-04NV
材質 帯電防止PBTアロイ

・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットがありません。

・ほぼ永久的に帯電防止効果が持続します。また導電材に金属を使用していないので、ウェハーへの汚染がありません。

・ウェハーの水平安定性を高めました。