・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールは全壁面でカードホルダーを設けています。

・ウォッシュ・スロットは下部のみに設けられています。

・厚みのあるウェハーおよび丸型基板が収納できます。

・耐熱性、剛性に優れていますのでウェハーのベーキング、拡散、薄膜形成工程等、高温処理後のウェハーの収納に適しています。

・ウェハーの水平安定性を高めました。