CR150A-01B3-HW

スロット数25
寸法 178mm × 143mm × 164mm
D₁寸法 14.54mm
ポケットピッチ 4.76mm
ポケット最深部 1.54mm
適用ボックス BX150
BX150W-01
BX150W-02
材質 PEI+CNT(導電性高機能樹脂)

・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットがありません。

・耐熱性、剛性に優れていますのでウェハーのベーキング、拡散、薄膜形成工程等、高温処理後のウェハーの収納に適しています。

・ウェハーの水平安定性を高めました。