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製品一覧 　/　 ウェハーキャリア/ハンドル 　/　 150mm ウェハーキャリア

CR150L-03LF-V

スロット数50
寸法 178mm × 143mm × 106mm
D₁寸法 14.54mm
ポケットピッチ 2.38mm
ポケット最深部 0.80mm
適用ボックス BX150H
BX150W-01
BX150W-02
適用ハンドル CH6-3
CH6-3L
材質 PFA

・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・開口部が広く洗浄、水切り、乾燥効果を高めています。

・ハーフピッチタイプで一度に50枚のウェハーの収納が可能です。

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