・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールはU字型です。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設け洗浄、水切り、乾燥効果を高めています。

・厚みのあるウェハーおよび丸型基板が収納できます。