・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールは全壁面でカードホルダーを設けています。

・ウォッシュ・スロットは下部のみに設けられています。

・低アウトガス、導電性材料を採用しています。

・ウェハーの水平安定性を高めました。

・オプションでカラータグ取り付け可能です。