CR200A-05-HW-SF


スロット数 | 25 |
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寸法 | 233mm × 202mm × 219mm |
D₁寸法 | 25.4mm |
ポケットピッチ | 6.35mm |
ポケット最深部 | 1.82mm |
適用ボックス |
BX200-01 / BX200-02 BX200DS BX200-12-C007 BX200H |
材質 | 帯電防止PBTアロイ |
・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。
・エンドウォールは全壁面となっています。
・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。
・サイドウォールにはウォッシュ・スロットがありません。
・ほぼ永久的に帯電防止効果が持続します。また導電材に金属を使用していないので、ウェハーへの汚染がありません。
・ウェハーの水平安定性を高めました。