CR200A-05-HW-SF

スロット数25
寸法 233mm × 202mm × 219mm
D₁寸法 25.4mm
ポケットピッチ 6.35mm
ポケット最深部 1.82mm
適用ボックス BX200-01 / BX200-02
BX200DS
BX200-12-C007
BX200H
材質 帯電防止PBTアロイ

・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールは全壁面となっています。

・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットがありません。

・ほぼ永久的に帯電防止効果が持続します。また導電材に金属を使用していないので、ウェハーへの汚染がありません。

・ウェハーの水平安定性を高めました。