・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。

・開口部が広く洗浄、水切れ、乾燥効果を高めています。

・ハーフピッチタイプで、50枚のウェハーの収納が可能です。

・サイドウォール面のウォッシュ・スロットに補強リブ有が01Hで、補強リブ無が02Hとなります。