・SEMI規格に準拠しています。（E158）

・剛性、低アウトガスに優れた材料を使用しています。

・サイドウォールにはウォッシュスロットを設け、洗浄、水切り、乾燥効果を高めています。

・リテーナー（ウェハー飛び出し防止）はロック機構により脱着可能です。

・キネマティックカップリングは脱着可能です。（オプション対応）