・6インチ（152mm）角レチクル対応です。

・レチクルのヘイズ対策として、低アウトガスの材料を採用しています。

・パーティクル侵入防止の為、シール性を向上させています。

・導電パス構造によるESD対策がされています。

・カバーは窓有り窓無し、透明等を選択できます。

・上面ペリクル付きレチクルが収納できます。

・パージバルブ、アウトガス吸着シートなどのオプション対応が可能です。