・ボックスの底は5°の傾斜角がついています。

・ウェハーのデバイス面はキャリアに触れず、全く傷つきません。

・ボックスは本体とカバーとで構成され、洗浄が容易です。

・カバー上部に工程管理表収納用のホルダーを設けています。

・ボックスは相互に積み重ねられます。