CH5-3

| 適用キャリア | 125mm(5インチ) |
|---|---|
| 材質 | PFA |
・頂部2本の横バーを上下より2~3本の指先でつまみ、力を加えて押せば両脚が開きます。
・両脚端のバーをキャリアの溝にはめて指先の力を抜けばハンドルは装着されます。
※75mmウェハー用、50mmウェハー用はご相談下さい。

| 適用キャリア | 125mm(5インチ) |
|---|---|
| 材質 | PFA |
・頂部2本の横バーを上下より2~3本の指先でつまみ、力を加えて押せば両脚が開きます。
・両脚端のバーをキャリアの溝にはめて指先の力を抜けばハンドルは装着されます。
※75mmウェハー用、50mmウェハー用はご相談下さい。