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4/5/6/8インチ兼用エッチング装置

4㏌ウェハー、5㏌ウェハー、6㏌ウェハー、8㏌ウェハーを兼用で処理可能なマルチサイズの装置です。高温の硫酸オゾンにも対応した強固な設計です。乾燥は、2サイズ兼用のスピンドライヤーを2セット組み込んで、乾燥も4サイズで処理可能です。サイズは自動判別のため、段取り換えがなく小ロット生産に最適です。