・設備外形寸法：W1,200×D900×H1,840mm

・Chamber内寸：W700×D600×H950mm

・電源：φ3 AC200V±10％ 50/60Hz

・消費電力：12kW

・DA圧力：0.5Mpa

・冷却水：5L/min

・Dry Pump：3,000L/min

・Chamber清浄度：クラス10

・真空到達圧力：20Pa