・設備外形寸法：W4,900×D4,150×H3,000mm

・処理能力：12台/hour以上

・重量：4000kg以下

・電源：Φ3AC200V±10% 30kVA

・CDA/N2：0.5MPa 4000L/min

・超純水：20L/min

・FOUPはAMHSによる自動供給、もしくは手動供給可能

・洗浄・乾燥槽：2槽/真空乾燥槽：4槽

・6軸多関節ロボット（サーボモータ駆動）