CR100C-02SF

スロット数25
寸法 126mm × 142mm × 114mm
D₁寸法 13.97mm
ポケットピッチ 4.76mm
ポケット最深部 1.80mm
適用ボックス BX100-PA-P3-P4
材質 帯電防止PBTアロイ

・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールは全壁面となっています。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットがありません。

・ほぼ永久的に帯電防止効果が持続します。また導電材に金属を使用していないので、ウェハーへの汚染がありません。

・ウェハーの水平安定性を高めました。