・SEMI規格に準拠しています。（E47.1, E1.9, E15.1, E57, E62）

・FOUP内部のAMC対策のため、ディフューザーの搭載が可能です。

・ESD対策のため、筐体は導電性、主要部品は導電性～帯電防止性の材料を使用しています。

・低吸湿性、低アウトガスを考慮した材料を使用しています。

・低発塵で密閉性や洗浄乾燥性に優れた基本設計となっています。

・UVカット窓、キャリアID (RF-ID)、Info Pad (A, B, C, D)、カードホルダー、N2バルブを標準装備しています。

（1）ディフューザー
（2）ヒューマンハンドルのカラー

（1）Φ200ウェハー用FOUP
（2）薄ウェハー用FOUP