・SEMI規格E19.4に準拠しています。

・Φ200mmウェハー対応です。

・低アウトガスの材料を使用しています。

・シェルは透明使用と透明窓付き導電仕様があります。

・低発塵で密閉性に優れた基本設計となっています。

・ウェハーやキャリア接触部は導電パス構造によるESD対策がされています。

（1）OHT搬送仕様
（2）サイドフランジのカラー
（3）バーコードプレート
（4）UVカット仕様
（5）キャリアID対応（RF-ID）
（6）パージバルブ仕様
（7）Info Pad（A、B、C、D）

(1) φ150mmウェハー用SMIF Pod