・SEMI規格E111に準拠しています。

・6インチ（152mm）角レチクル対応です。

・レチクルのヘイズ対策として、低アウトガスの材料を採用しています。

・導電パス構造によるESD対策がされています。

・レチクル保持部に低発塵材料を使用しています。

・パージバルブ、アウトガス吸着シートなどのオプション対応が可能です。