・SEMI規格E111に準拠しています。

・6インチ（152mm）角レチクル対応です。

・レチクルのヘイズ対策として、低アウトガスの材料を採用しています。

・導電パス構造によるESD対策がされています。

・レチクル保持部に低発塵材料を使用しています。

・パージバルブ、アウトガス吸着シートなどのオプション対応が可能です。

RSP-150-CP001シリーズ
RSP-150-CN001シリーズ
RSP-150-CAP001シリーズ
RSP-150-CAN001シリーズ

※キヤノン半導体露光装置に対応している機種もございます。お気軽にお問い合わせください。