・洗浄プロセス用PFAカセット、または搬送用オープンカセットを1個収納できます。特に、搬送用オープンカセットはウェハーを水平および垂直に保持したいずれの状態でも収納できます。

・搬送用オープンカセットにウェハーを水平に保持して収納する場合に、低部に5°の傾斜を設けていますので、カセットが後方に傾き、ウェハーが前面に飛び出すことを防止します。

・材質は、特殊製法によりアウトガスの発生を極力抑えた透明ポリカーボネートを使用していますので、キャリアにつけられたバーコードをボックスの外から読み取ることができます。

・ボックスとカバーは2ヶ所に設けられたラッチとピンで固定できます。