CR125A-06SF-HW

スロット数25
寸法 152mm × 145mm × 146mm
D₁寸法 16.23mm
ポケットピッチ 4.76mm
ポケット最深部 1.54mm
適用ボックス BX125-03
材質 帯電防止PBTアロイ

・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールにはハンドルを設けています。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットがありません。

・ほぼ永久的に帯電防止効果が持続します。また導電材に金属を使用していないので、ウェハーへの汚染がありません。

・ウェハーの水平安定性を高めました。