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製品一覧 / ウェハーキャリア/ハンドル / 125mm ウェハーキャリア
・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。
・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。
・サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。
・耐熱性、剛性に優れていますのでウェハーのベーキング、拡散、薄膜形成工程等高温処理後のウェハーの収納に適しています。