CR150A-01B3-HW


スロット数 | 25 |
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寸法 | 178mm × 143mm × 164mm |
D₁寸法 | 14.54mm |
ポケットピッチ | 4.76mm |
ポケット最深部 | 1.54mm |
適用ボックス |
BX150 BX150W-01 BX150W-02 |
材質 | PEI+CNT(導電性高機能樹脂) |
・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。
・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。
・サイドウォールにはウォッシュ・スロットがありません。
・耐熱性、剛性に優れていますのでウェハーのベーキング、拡散、薄膜形成工程等、高温処理後のウェハーの収納に適しています。
・ウェハーの水平安定性を高めました。