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製品一覧 　/　 ウェハーキャリア/ハンドル 　/　 150mm ウェハーキャリア

CR150A-03LF

スロット数26
寸法 178mm × 143mm × 164mm
D₁寸法 14.54mm
ポケットピッチ 4.76mm
ポケット最深部 1.52mm
適用ボックス BX150
BX150W-01
BX150W-02
適用ハンドル CH6-3
CH6-3L
材質 PFA

・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールはU字型です。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設け洗浄、水切り、乾燥効果を高めています。

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