CR150A-25-02HW-SF


スロット数 | 25 |
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寸法 | 178mm × 143mm × 164mm |
D₁寸法 | 14.54mm |
ポケットピッチ | 4.76mm |
ポケット最深部 | 1.52mm |
適用ボックス |
BX150 BX150-09-C001 BX150W-01 BX150W-02 BX150-27-C001 BX150-04NV |
材質 | 帯電防止PBTアロイ |
・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。
・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。
・サイドウォールにはウォッシュ・スロットがありません。
・ほぼ永久的に帯電防止効果が持続します。また導電材に金属を使用していないので、ウェハーへの汚染がありません。
・ウェハーの水平安定性を高めました。