・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。

・低アウトガス、導電性材料を採用しています。

・ウェハーの水平安定性を高めました。