CR200A-02B3-H

スロット数25
寸法 234mm × 203mm × 219mm
D₁寸法 25.4mm
ポケットピッチ 6.35mm
ポケット最深部 2.0mm
適用ボックス BX200-01 / BX200-02
BX200DS
BX200-12-C007
BX200H
材質 PEI+CNT(導電性高機能樹脂)

・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。

・耐熱性、剛性に優れていますのでウェハーのベーキング、拡散、薄膜形成工程等、高温処理後のウェハーの収納に適しています。

・ウェハーの水平安定性を高めました。