CR200A-12-01H-SF


スロット数 | 25 |
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寸法 | 234.4mm × 203.2mm × 218.31mm |
D₁寸法 | 25.4mm |
ポケットピッチ | 6.35mm |
ポケット最深部 | 1.65mm |
材質 | 帯電防止PBTアロイ |
・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。
・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。
・ウォッシュ・スロットを設けています。
・200mmウェハー用キャリアの外形寸法でありながら150mmウェハーが収納できるキャリアとなっています。
・ほぼ永久的に帯電防止効果が持続します。また導電材に金属を使用していないので、ウェハーへの汚染がありません。