CR200A-12-01H-SF

スロット数25
寸法 234.4mm × 203.2mm × 218.31mm
D₁寸法 25.4mm
ポケットピッチ 6.35mm
ポケット最深部 1.65mm
材質 帯電防止PBTアロイ

・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールにはヨの字型のハンドルを設けています。

・ウォッシュ・スロットを設けています。

・200mmウェハー用キャリアの外形寸法でありながら150mmウェハーが収納できるキャリアとなっています。

・ほぼ永久的に帯電防止効果が持続します。また導電材に金属を使用していないので、ウェハーへの汚染がありません。