・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールは全壁面となっており、ヨの字型のハンドルを設けています。

・サイドウォールは全壁面となっています。

・耐熱性、剛性に優れていますので、ウェハーのベーキング、拡散、薄膜形成工程等、

　高温処理後のウェハー収納に適しています。

・ウェハーの水平安定性を高めました。

・8インチSMIF Pod /SM8への収納が可能です。

・オプションでRFタグ取り付け可能です。