・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールは全壁面となっています。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。

・耐熱性、剛性に優れていますのでウェハーのベーキング、拡散、薄膜形成工程等高温処理後のウェハー収納に適しています。

・ウェハーの水平安定性を高めました。