・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・エンドウォールは全壁面となっています。

・ウォッシュ・スロットは下部のみに設けられています。

・ほぼ永久的に帯電防止効果が持続します。また導電材に金属を使用していないので、ウェハーの汚染がありません。

・ウェハーの水平安定性を高めました。