・キネマティック対応専用のアダプターをつければ、SEMIスタンダードに準拠したステージに載置できます。ただしウェハーピッチがSEMIスタンダードとは異なっておりますので、ご使用になる際は別途、外観寸法図面をご請求の上、ご確認下さい。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。

・ロー・プロファイルタイプのため、ウェハーの露出部が大きく、洗浄、乾燥効果をより高めています。

・ウェハーの寸法安定性を高めました。