・キャリアの一端はH字型で各種自動機にかけられます。

・トップフランジは折返し形状です。

・サイドウォールにはウォッシュ・スロットを設けています。

・ロー・プロファイルタイプのため、ウェハーの露出部が大きく、洗浄、乾燥効果をより高めています。

・ウェハーの寸法安定性を高めました。