・一部を除いて、SEMI規格に準拠しています。（E1.9、E57）

・高寸法精度、剛性、低アウトガス、低摩耗性、耐熱性、帯電防止性能に優れた材料を使用しています。

・ウェハー飛び出し防止突起構造となっています。

・オプションでRFタグ取り付け可能です。