・SEMI規格に準拠しています。（E1.9、E57）

・高寸法精度、剛性、低アウトガス、低摩耗性、耐熱性に優れた材料を使用しています。

・ウェハー飛び出し防止突起構造となっています。

・専用ハンドル：CH300-01を取り付けることができます。