本装置は、300mmウェハーをカセットレスで最大50枚-ハーフピッチ/バッチの処理能力を持ち、ウェットインドライアウト及び、ドライイン、ドライアウトの形態に対応しています。また、ホストコミュニケーションによるフルオート運転も対応いたします。洗浄処理は、ニーズに合わせて槽構成を柔軟に変更できるフルカスタム装置で、様々な洗浄ニーズに合わせて専用設計をします。量産装置として多数の実績があります。