300mmWafer用FOUP/FOSB全自動洗浄装置

真空乾燥特許技術により、FOUP洗浄後の完全乾燥を実現。
・設備外形寸法:W4,900×D4,150×H3,000mm
・処理能力:12台/hour以上
・重量:4000kg以下
・電源:Φ3AC200V±10% 30kVA
・CDA/N2:0.5MPa 4000L/min
・超純水:20L/min
・FOUPはAMHSによる自動供給、もしくは手動供給可能
・洗浄・乾燥槽:2槽/真空乾燥槽:4槽
・6軸多関節ロボット(サーボモータ駆動)
真空乾燥特許技術により、FOUP洗浄後の完全乾燥を実現。
・設備外形寸法:W4,900×D4,150×H3,000mm
・処理能力:12台/hour以上
・重量:4000kg以下
・電源:Φ3AC200V±10% 30kVA
・CDA/N2:0.5MPa 4000L/min
・超純水:20L/min
・FOUPはAMHSによる自動供給、もしくは手動供給可能
・洗浄・乾燥槽:2槽/真空乾燥槽:4槽
・6軸多関節ロボット(サーボモータ駆動)