6㏌ウェハー、8㏌ウェハーをカセットレス処理で兼用できる装置です。乾燥工程は、独自の引き上げ乾燥を装備しており、2サイズマルチ設計で段取り換えはありません。6/8㏌以外にも、5/6㏌兼用タイプの装置も製造可能です。