各種薬液の調合、供給装置です。

フッ酸、アンモニア水等を希釈調合を行い、バッファタンクから洗浄装置へ供給します。高精度な秤量方法で、低濃度HF液等の作成も可能です。

また、ポンプ等の消耗品を交換が容易な配置設計としてメンテナンス作業負荷を軽減します。