容器洗浄装置は、300mmウェハー出荷容器（FOSB）やFOUPの精密洗浄用として開発されました。ウェハー容器の洗浄に要求される様々なノウハウが施された装置です。

高機能洗浄剤によるスプレー洗浄、エアブロー水切り等で高いスループットを実現させています。本装置は、FOSB/FOUP以外にも、オープンカセット、SMIF Podなどの容器の洗浄においても同様の性能を発揮します。各ワークに対応して洗浄ジグと最適なノズル設計レイアウトで各ワークの専用機として機能します。