・ガイドリング（リングフレーム）付きウェハー用保管、搬送ボックスです。

・倍ピッチティースを利用し13枚の収納も可能です。

・ボックスの本体とカバーは4箇所でロックされます。

・ボックスは本体、カバー、サポートとで構成され、洗浄が容易です。

・ボックスは相互に積み重ねられます。