・Φ12.5mmウェハー、□10mmウェハーを保管、搬送する容器です。

・PLAD(Particle Lock Air tight Docking)システム対応。

・磁力によるロック・アンロック機構を有しており内部を密閉化する構造となっており、開閉時の発塵も抑制できます。

・主材料に帯電防止低アウトガス材料を使用し、有機アウトガス、無機イオンを抑制できます。