・有機汚染が少ない非晶性樹脂を使用しています。

・ガスケットの採用により高い機密性を有しています。

・ウェハー表面の押さえにエラストマーを使用しダメージが少ない構造です。

・ウェハートレーは相互に積み重ねられます。

・カバー上面にA6サイズのラベルが貼れます。

※帯電防止タイプにつきましては別途ご相談下さい。