WT-300 ウェハートレー
| 適用ウェハー | 300mmウェハー |
|---|---|
| 寸法 | 327.5mm × 338.5mm × 42.5mm |
・有機汚染が少ない非晶性樹脂を使用しています。
・ガスケットの採用により高い機密性を有しています。
・ウェハー表面の押さえにエラストマーを使用しダメージが少ない構造です。
・ウェハートレーは相互に積み重ねられます。
・カバー上面にA6サイズのラベルが貼れます。
| 適用ウェハー | 300mmウェハー |
|---|---|
| 寸法 | 327.5mm × 338.5mm × 42.5mm |
・有機汚染が少ない非晶性樹脂を使用しています。
・ガスケットの採用により高い機密性を有しています。
・ウェハー表面の押さえにエラストマーを使用しダメージが少ない構造です。
・ウェハートレーは相互に積み重ねられます。
・カバー上面にA6サイズのラベルが貼れます。